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Alicat MC系列質(zhì)量流量控制器

閱讀:165        上傳時間:2019/08/23

艾里卡特MC系列質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值,并保持該設(shè)定值,即使在壓力突然增加的情況下,亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能,確保相關(guān)產(chǎn)品能快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。

  • 多功能。MC系列質(zhì)量流量控制器監(jiān)控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
  • 連接。MC系列質(zhì)量流量控制器利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項(xiàng),可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
  • 耐用。MC系列質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性,我們可為您的MFC構(gòu)建IP66等級防護(hù)。
  • 性能

  • 可用量程:大0-5000 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,參見零件編號標(biāo)簽)
  • 可調(diào)比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
  • 標(biāo)準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)
  • 高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)
  • 可重復(fù)性:0.2%滿量程
  • 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時間常數(shù):50-100ms(若有PID調(diào)節(jié)功能,可縮短至25ms)
  • 無需預(yù)熱時間

工作條件

  • 兼容氣體:98(MC系列)或130(MCS系列)種預(yù)置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
  • 工作溫度:-10°C至+60°C
  • 大內(nèi)部壓力(靜態(tài)):145 psig(160 psia)
  • 耐受壓力:175 psig(190 psia)

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